工艺原理
三氯氢硅尾气中富含氢气、氯硅烷、氯化氢气体。气体组份相对稳定，一旦外漏极易污染环境，同时三氯氢硅可以空气中的微量水反应水解是SiO2和盐酸，加速阀门的损坏，影响现场装置和人员的安全。我公司开发的三氯氢硅尾气回收装置，能有效分离附加值高的氢气，并利用氯硅烷低沸点特性，回收氯硅烷。
苏州佳瑞气体系统有限公司
联系人：马经理
手 机：13771705679
销售热线：13812796181
电 话：0512-67076793
传 真：0512-67076793
地 址：苏州市吴中区东吴北路28号
网 址：www.szjrgas.com
工艺原理
三氯氢硅尾气中富含氢气、氯硅烷、氯化氢气体。气体组份相对稳定，一旦外漏极易污染环境，同时三氯氢硅可以空气中的微量水反应水解是SiO2和盐酸，加速阀门的损坏，影响现场装置和人员的安全。我公司开发的三氯氢硅尾气回收装置，能有效分离附加值高的氢气，并利用氯硅烷低沸点特性，回收氯硅烷。