工艺原理
三氯氢硅尾气中富含氢气、氯硅烷、氯化氢气体。气体组份相对稳定，一旦外漏极易污染环境，同时三氯氢硅可以空气中的微量水反应水解是SiO2和盐酸，加速阀门的损坏，影响现场装置和人员的安全。我公司开发的三氯氢硅尾气回收装置，能有效分离附加值高的氢气，并利用氯硅烷低沸点特性，回收氯硅烷。苏州佳瑞气体系统有限公司
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