工艺原理 ：
三氯氢硅尾气中富含氢气、氯硅烷、氯化氢气体。气体组份相对稳定，一旦外漏极易污染环境，同时
三氯氢硅可以空气中的微量水反应水解是二氧化硅和盐酸，加速阀门的损坏，影响现场装置和人员的
安全。我公司开发的三氯氢硅尾气回收装置，能有效分离附加值高的氢气，并利用氯硅烷低沸点特性，
回收氯硅烷。
多晶硅还原尾气进入循环冷凝洗涤塔，在不同压力条件下，经过氯硅烷气提塔和HCI精馏塔进行系列精
馏气提深冷后，多级气液精馏、气提、洗涤，实现氢气与液态HCI分离，回收高纯氢气及液态热HCI，
使多晶硅尾气变废为宝、节约资源同时降低处理过程中的能源消耗。
技术特点：
（1）原材料消耗低。
（2）氢气回收、净化和循环利用。